每日消费报3月25日消息，近日，中国科学院在深紫外（DUV）光源技术领域取得重大突破，成功研发出全固态DUV光源系统。该技术有望解决高端半导体制造、精密仪器等领域的核心光源依赖进口的难题，为我国在光刻、检测等产业链关键环节的自主可控提供重要支撑。

技术亮点

1. 全固态设计：采用新型固态激光器方案，相较传统气体放电光源，具有体积小、能耗低、稳定性高等优势，寿命显著延长。
2. 波长覆盖关键波段：可稳定输出193nm及以下深紫外波段，满足高端光刻机、纳米级芯片制造对光源的严苛要求。
3. 国产化突破：核心技术及核心部件均实现自主研发，打破国外厂商长期垄断。

应用前景
该技术可广泛应用于半导体光刻、生物医学检测、精密加工等领域。业内专家指出，其产业化将加速国产DUV光刻设备的研发进程，助力解决“卡脖子”问题。

目前，研究团队正推进技术优化及工程化落地，相关成果已发表于国际权威期刊，并申请多项专利。